鈦酸鉍鈉鉀無鉛鐵電薄膜結構調控及電性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、鐵電體是當今一類極為重要的功能材料。然而目前應用較為廣泛的鐵電材料通常含鉛量較高，這對環(huán)境和人類健康是一致命威脅，因此無鉛鐵電材料的開發(fā)與研究成為焦點。鈦酸鉍鈉(NBT)具有較高的室溫居里溫度和強鐵電性，被認為是一種有潛力的無鉛鐵電材料。隨著微電子集成工藝的快速發(fā)展，功能材料的研究由塊體轉向薄膜，而目前對于NBT的研究主要集中于塊體材料，對其薄膜的研究較少，這主要是因為其薄膜材料仍存在一些不足，具體表現(xiàn)為織構度較差、晶化溫度過高、剩余極

2、化較低、漏電流較大和極化較難反轉。相比于純的NBT，由NBT和鈦酸鉍鉀(KBT)組成的固溶體(NKBT)顯示出增強的性能，成為無鉛高性能鐵電材料的研究熱點。
　　本文利用溶膠凝膠/旋涂技術成功制備了NKBT薄膜，主要針對NKBT薄膜上述缺陷展開一系列研究，以期能優(yōu)化其性能。論文主要探索了熱處理溫度對NKBT薄膜晶化行為的影響，結果表明隨熱解溫度和退火溫度的升高，NKBT薄膜的晶化程度變得更加完全;還研究了組分對(Pb1-x-yLa

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