電子陀螺儀原理與構造

1、1HighlyIntegratedNanotechnologyMEMSMEMS陀螺儀傳感器產業(yè)探究陀螺儀傳感器產業(yè)探究目錄：目錄：一、一、MEMSMEMS陀螺儀市場現狀陀螺儀市場現狀...........................................................................................2第一節(jié)、第一節(jié)、MEMSMEMS主要廠家產品資料匯總主要廠家產品資料匯總.

2、...............................................................2第二節(jié)、第二節(jié)、MEMSMEMS在我國的產業(yè)現狀在我國的產業(yè)現狀........................................................................2二、二、MEMSMEMS陀螺儀介紹陀螺儀介紹.............................

3、......................................................................3第一節(jié)、什么是微機械（第一節(jié)、什么是微機械（MEMSMEMS）？）？.....................................................................3第二節(jié)、微機械陀螺儀（第二節(jié)、微機械陀螺儀（MEMSMEMSgyroscopegyrosc

4、ope）的工作原理）的工作原理.................................3第三節(jié)、微機械陀螺儀的結構第三節(jié)、微機械陀螺儀的結構.............................................................................4三、三、MEMSMEMS技術的加工工藝技術的加工工藝.........................................

5、..................................................6第一節(jié)、體加工工第一節(jié)、體加工工藝.............................................................................................6第二節(jié)、硅表面微機械加工技術第二節(jié)、硅表面微機械加工技術..............................

6、...........................................7第三節(jié)、結合技術第三節(jié)、結合技術.................................................................................................7第四節(jié)、逐次加工第四節(jié)、逐次加工..............................................

7、...................................................8第五節(jié)、第五節(jié)、LIGALIGA工藝工藝................................................................................................8第六節(jié)、第六節(jié)、THEMLATHEMLA工藝流程工藝流程.......................

8、.............................................................9四、基于四、基于DSPDSP的MEMSMEMS陀螺儀信號處理平臺設計陀螺儀信號處理平臺設計......................................................9第一節(jié)、第一節(jié)、MEMSMEMS陀螺儀信號處理平臺的硬件結構陀螺儀信號處理平臺的硬件結構..............

9、..................................9第二節(jié)、第二節(jié)、MEMSMEMS陀螺儀信號處理平臺系統任務分析陀螺儀信號處理平臺系統任務分析..........................................10第三節(jié)、第三節(jié)、MEMSMEMS信號處理平臺軟件設計方案信號處理平臺軟件設計方案......................................................1

10、1五、基于五、基于GPSGPS的汽車導航系統的設計與實現的汽車導航系統的設計與實現..........................................................12第一節(jié)、主體控制方案第一節(jié)、主體控制方案.......................................................................................12第二節(jié)、第二節(jié)、GP

11、SGPS定位系統設計定位系統設計................................................................................13第三節(jié)、車體部分第三節(jié)、車體部分MCUMCU主控模塊設計主控模塊設計..............................................................14第四節(jié)、系統軟件設計第四節(jié)、系統軟件設計....

12、...................................................................................143HighlyIntegratedNanotechnology年生產能力達到幾千萬只甚至幾億只。相比之下，中國傳感器的應用范圍較窄，更多的應用仍然停留在工業(yè)測量與控制等基礎應用領域。深迪半導體，發(fā)布了旗下第一款陀螺儀產品SSZ030CG，這標志著第一款具有中國自主知識產

13、權的商用MEMS陀螺儀誕生。二、二、MEMSMEMS陀螺儀介紹陀螺儀介紹第一節(jié)、什么是微機械（第一節(jié)、什么是微機械（MEMSMEMS）？）？微機械MEMS是英文MicroElectroMechanicalsystems的縮寫，即微電子機械系統。微電子機械系統(MEMS)技術是建立在微米納米技術（micronanotechnology）基礎上的21世紀前沿技術，是指對微米納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學

14、系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元的微型系統。這種微電子機械系統不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部的指令采取行動。它用微電子技術和微加工技術(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術)相結合的制造工藝，制造出各種性能優(yōu)異、價格低廉、微型化的傳感器、執(zhí)行器、驅動器和微系統。微電子機械系統（MEMS）是近年來發(fā)展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活產生革命性的影

15、響。它涉及機械、電子、化學、物理、光學、生物、材料等多學科。第二節(jié)、微機械陀螺儀（第二節(jié)、微機械陀螺儀（MEMSMEMSgyroscopegyroscope）的工作原理）的工作原理傳統的陀螺儀主要是利用角動量守恒原理，因此它主要是一個不停轉動的物體，它的轉軸指向不隨承載它的支架的旋轉而變化。但是微機械陀螺儀的工作原理不是這樣的，因為要用微機械技術在硅片襯底上加工出一個可轉動的結構可不是一件容易的事。微機械陀螺儀利用科里奧利力——旋轉物體