

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、激光直接寫入技術是制作二元光學掩模和二元光學元件的主要方法。用于光刻的激光輸出功率的穩(wěn)定性對于保證二元光學器件的加工質量是十分重要的,要求激光輸出功率非常穩(wěn)定。然而激光器受很多外界因素影響,導致輸出功率會產生噪聲,這直接影響光刻膠上的直寫微細圖形質量,從而最終影響二元光學器件的衍射效率。一方面相同轉速下,在不同半徑的環(huán)帶上進行曝光時,隨著被曝光環(huán)帶直徑的增大,光刻膠上單位面積時間內所接收的曝光量將減小,另一方面由于系統(tǒng)所用的激光器的光功
2、率輸出有較大的起伏,基線也產生漂移。因此,為了在整個基片上加工出寬度、深度一致的線條,必須對激光輸出光功率進行控制以達到恒定功率輸出并且連續(xù)可調。本文利用聲光調制器對He-Cd激光器的輸出功率進行控制,首先利用系統(tǒng)辨識的方法獲得聲光調制器的數(shù)學模型,然后借助仿真環(huán)境設計出合理的控制參數(shù),從而得到高穩(wěn)定度的光強穩(wěn)定控制電路。具體內容如下:1.分析聲光調制器的工作原理,為使光功率控制系統(tǒng)的響應達到預期的效果,在MATLAB環(huán)境下辨識出聲光調
3、制器的數(shù)學模型,獲得聲光調制器的傳遞函數(shù)。2.借助SIMULINK工具箱,利用辨識出的聲光調制器模型設計出控制系統(tǒng)的仿真模型,得到實用的控制系統(tǒng),采用廣泛應用的PID控制算法對其進行控制,并對控制器進行參數(shù)整定。3.設計基于DSP的信號采集及光功率控制系統(tǒng)硬件電路。DSP信號采集與控制電路是反饋控制系統(tǒng)的核心,它實現(xiàn)以下功能:對光電轉換電路的輸出信號進行濾波、采樣、A/D轉換、處理、運算(主要是PID算法)、D/A轉換,最后輸出反饋控制
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于聲光調制的激光功率穩(wěn)定控制系統(tǒng).pdf
- 激光直寫機的光功率控制系統(tǒng)研究與設計.pdf
- 基于MEMS光柵光調制器的機電特性及控制系統(tǒng)研究.pdf
- 光調制器
- 聲光調制器中線性功放系統(tǒng)的研究.pdf
- 電光調制器自動偏置控制系統(tǒng)及裝置研究.pdf
- 空間光調制器
- 高速波導聲光調制器的研究.pdf
- 空間光調制器
- 基于FPGA的線陣光柵光調制器驅動控制系統(tǒng)設計與實驗.pdf
- 面向光柵光調制器陣列的動態(tài)圖像顯示控制系統(tǒng)設計.pdf
- 基于DSP的高壓脈沖調制器控制系統(tǒng)設計.pdf
- 純相位液晶空間光調制器的多光束光功率控制技術研究.pdf
- 聲光調制器驅動源及其通信系統(tǒng)研究.pdf
- 光調制器畢業(yè)設計論文
- 數(shù)字線性聲光調制器及其應用.pdf
- 使用液晶空間光調制器實現(xiàn)激光束整形.pdf
- 用于全光纖調Q激光器的波導聲光調制器的研究.pdf
- 基于聲光調制器的非機械伺服控制技術研究.pdf
- MOEMS光柵光調制器陣列的控制系統(tǒng)電路關鍵技術研究.pdf
評論
0/150
提交評論