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文檔簡介
1、微定位機構是指行程小(一般小于毫米級)、精度高(亞微米級、納米級)、靈敏度高的機構,它是精密機械和精密儀器的關鍵部件之一。它既可作為微進給和微調部件,也可作為工藝系統(tǒng)誤差的靜態(tài)和動態(tài)補償部件。許多高科技領域都需要微定位技術的支持,壓電微定位技術由于有諸多優(yōu)點,正成為近年國內外的研究熱點。 本文在深入分析研究了國內外微定位技術的基礎上,研究了一種空間分布壓電驅動的多自由度微定位新技術,完成了微定位工作臺定位原理研究,建立了微定位工
2、作臺位姿控制模型。采用空間并列分布式壓電驅動實現(xiàn)微定位工作臺的三維平移和三維旋轉。在四層平行平板間并列分布九個PZT微驅動器,每層的三個驅動器擺放在一個正三角形的三個頂點上。建立了九個PZT微驅動器伸縮量組合與最上層平板位置、姿態(tài)之間轉換的位姿控制模型,通過分別控制九個PZT微驅動器的單個伸縮量,實現(xiàn)載物臺(最上層平板)的六自由度微定位。 開展了PZT微驅動器特性的研究與實驗,提出了在本項目中減小PZT微驅動器自身誤差的方法。
3、 設計了空間分布壓電驅動的多自由度微定位實驗系統(tǒng),將多路PZT微驅動器、電感傳感器、A/D轉換卡、計算機、D/A轉換卡、PZT驅動電源集成為定位控制實驗系統(tǒng),采用VisualBasic6.0語言編寫了控制軟件,設計了實驗方案并進行了實驗研究。 對微定位系統(tǒng)進行了初步的誤差分析,提出了改進措施。 本文研究的空間分布壓電驅動的多自由度微定位新技術,從運動原理上消除了各運動方向間的干擾,從而達到將運動方向間的交叉耦合誤差
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