基于MEMS技術的三軸電容式加速度傳感器研究.pdf

1、基于MEMs技術的三軸電容式加速度傳感器研究ResearchofaTri—AxisCapacitiveAccelerometerbasedonMEMSTechnology作者姓名塞堡j盞———一學位類型堂壓亟—土二一學科、專業(yè)邀電王堂皇固體立j生研究方向邀電王扭越丕統(tǒng)遮鹽魚盟導師及職稱迕直越副麴盔L一2012年4月獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學位論文是本人在導師指導下進行的研究J：作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加以標注和致謝的

2、地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得金日里』些塞堂或其他教育機構的學位或證書而使用過的材料。與我一同二I：作的同志對本研究所做的任何貢獻均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。學位論文作者簽名：簽字日期：學位論文版權使用授權書本學位論文作者完全了解金月墨三：些太堂有關保留、使，j學位論文的規(guī)定，有權保留并向國家有關部門或機構送交論文的復印件和磁盤，允許論文被查閱和借閱。本人授權僉避三!二些丕堂可以將學位論文