微細加工表面形貌的評定方法研究及軟件實現(xiàn).pdf

1、 本文首先分析了表面形貌評定理論和方法的意義，總結了表面形貌評定理論和方法的研究現(xiàn)狀及進展，分析了現(xiàn)有的表面形貌評定國際標準及其相關評定體系，并針對二維表面形貌評定軟件中最重要的問題—輪廓峰谷點的搜索問題，提出了基于有限差分思想的二維輪廓峰谷點搜索算法。在此算法基礎上開發(fā)了相應的二維表面形貌評定軟件，并通過對大量的實際采樣數(shù)據(jù)的處理驗證了算法的可行性。其次，就三維表面形貌評定過程中的形貌分離與濾波問題，分析了二維高斯濾波

2、評定基準的長處與不足，并對二維高斯濾波函數(shù)進行了改進。運用未改進函數(shù)和已改進函數(shù)對實驗采樣數(shù)據(jù)進行處理。同樣，對三維領域的高斯濾波函數(shù)，也進行了改進，并通過實際采樣數(shù)據(jù)進行了驗證。最后，介紹了幾種在三維表征中產生基準面的實用方法，分析了當前國際上具有代表性的幾種三維表面形貌的表征方法，詳細介紹了一種新型的數(shù)字圖像處理方法(數(shù)學形態(tài)學中的流域分割法)，用該圖像分割法對微細加工表面的電子顯微圖片進行了處理，并結合Barre定義的三維Moti