基于機器視覺的晶圓定位系統(tǒng)研究.pdf

1、近年來,半導體行業(yè)制造工藝持續(xù)發(fā)展,微小芯片的市場需求也急速增長,芯片尺寸、引線間距和焊盤直徑不斷減小,因而對封裝設備的運動精度要求越來越高。傳統(tǒng)的封裝設備已無法滿足需要,視覺定位技術已逐漸成為保證電子封裝設備高精度運行的關鍵技術。本論文研制了一套基于機器視覺的晶圓定位系統(tǒng),實現(xiàn)芯片的實時定位與對位操作。全文主要包括以下幾個方面的內(nèi)容:
　　一、針對晶圓定位系統(tǒng)的要求,對視覺系統(tǒng)和運動控制系統(tǒng)分別進行具體的設計。
　　二、論

2、文對機器視覺技術中重要的相機標定技術進行了一定的研究,分析相機成像模型以及坐標轉(zhuǎn)換關系。針對畸變小的遠心鏡頭,應用了一種線性模型,對視覺系統(tǒng)進行標定。
　　三、針對芯片特點,研究了定位算法。使用背景去除法進行圖像預處理,利用Canny算子進行邊緣檢測,提出利用邊緣像素個數(shù)分離各連通區(qū)域,同時提出基于霍夫變換和最小二乘法相結合的直線檢測算法進行直線檢測,并利用直線檢測結果計算圖像中的定位點。最后利用提取到的定位信息,計算出對位操作的